氢气纯化装置是一种以氢气为原料,通过催化除氧冷却除水,吸附干燥的氢气纯化设备。它主要由预加热器、除氧器、冷却器、冷干机、干燥器、仪表控制系统等部件组成。 工作原理 本装置先将原料氢气加热后，使其进入装有钯催化剂的除氧器。在除氧器中氢气中的微量氧与氢气在催化剂作用下，发生氢氧反应生成水汽O2+2H2→2H。
本装置先将原料氢气加热后，使其进入装有钯催化剂的除氧器。在除氧器中氢气中的微量氧与氢气在催化剂作用下，发生氢氧反应生成水汽O2+2H2→2H2O，再经冷凝除水达到除氧之目的。经除氧、除水后的氢气再经装有分子筛的干燥器进行深度吸附干燥处理。从而获得含水量、含氧量极低的高纯氢气。
高纯氢气广泛应用于石油化工、电子工业、电子半导体、冶金工业、机械、食品加工、浮法玻璃、高纯材料和光电材料等产业部门和科学研究中、生产部门亦可作为热处理保护气体以及精细有机合成、航空航天等方面有着广泛的应用。例如本机已在精密合金热处理、航天航空、半导体硅材料、硅外延、化合物半导体等的生产中的应用，效果都很好。
主要技术性能
处理气量：0.5～2000Nm3/h
原料氢气氧含量：≤2%
产品氢气氧含量：≤1ppm
产品氢气露点：≤－60～－70℃
产品氮气压力：0.1～1.0Mpa
干燥器切换方式：自动或手动
结构形式：带面板的框架结构或箱式
主要特点
工艺流程简单、除氧深度深、露点低；
电气装置按隔爆要求设计.采用蒸汽加热，冰水冷却，加热冷却自动由调阀控制流量；
运行成本低，设备投资少；
操作方便、维护简便；
可靠性高。
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