VPSA制氧装置技术在我国起步较早。作为军用产品，1966年开始研究空气制氧用沸石分子筛分离技术。
20世纪70年代是我国VPSA制氧装置技术发展的全盛时期。国内十几家单位先后开展了PSA制氧技术的实验研究，建立了多套工业试验设备。这一时期开发的VPSA制氧装置有以下共同点:
(1)除常压吸附外，多采用常压脱附工艺，吸附塔2 ~ 4座;
(2)空气进入吸附塔前经过脱水预处理;
(3)设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废;
(4)技术经济指标落后。
由于低成本性能的设备,这个过程不是足够成熟,市场开发是不够的,旧的设备已被服务,新设备找不到市场,在1980年代,最初从事VPSA制氧装置研究和开发部门开发项目已经暂停了,中国的VPSA制氧装置的发展又进入了一个低谷。可以说，国内市场在此之前，没有正规的工业制氧设备，也没有专业的psa制氧设备制造商。
从20世纪90年代开始，psa制氧正式工业化，由于电能短缺，钢铁市场蓬勃发展，支持了psa制氧电炉炼钢，不仅项目快，使用效果也很好。
电炉炼钢所需的氧气纯度为90%。因此，作为电炉的配套设备，psa制氧的质量要求是90%的氧气纯度。
psa氧气的生成是空气的原料，正常的空气成分根据体积分数的计算是:氮(N2)约占78%,氧气(O2)约占21%,稀有气体约占0.939%的(他氦、氩、氖Ar Rn,氪Kr,氙Xe,氡,主要用于氩),二氧化碳(CO2)约占0.031%,约占0.03%,天然气和其他杂质,如臭氧(O3)、一氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2),水蒸气(H2O)等。
由于氧气与稀有气体氩的分子量相近，不能分离，所以假设空气中所有的氮气都被吸附，剩下的氧气仅占21/22=0.9545，因此业界认为psa制氧的理论纯度最高为95.5%。
氧纯度的80%来自于本世纪初的富氧冶炼和高炉喷煤工艺。事实上，用户只需要富氧空气，而产品的开发是为了降低氧气的提取成本。在设计上，1000Nm3/h-90% psa制氧设备相当于1250Nm3/h-80%纯度的设备和800Nm3/h-93%纯度的设备。
氧气纯度为85%，其实没有实际意义，但有些厂家根据80%纯度的设备当纯度为85%时，产量并没有下降多少。