1.放电路径短，可以有效减少反应物的沉积。与其他真空泵相比，干式螺旋真空泵由于泵送过程中气体传输路径较短，不太容易沉积反应物。
2.线性密封好，泵送性能好，专利转子线性密封，转子密封好，较大啮合间隙下泵送效果快。由于啮合间隙大，泵的泵压不易因工艺气体沉积而卡死，因此转子不易因磨损而更换。
开山干式螺杆真空泵是利用一对变螺距螺杆在泵壳内高速同步反向旋转而产生的抽排气装置。两个螺杆通过精密动平衡调整，由轴承支撑，安装在泵壳内，两者之间有一定间隙。因此，泵工作时，它们之间没有摩擦，运行稳定，噪音低，工作室不需要润滑油。因此，变螺距干式螺杆泵具有较大的泵送能力，并且能够泵送掉包含大量水蒸气和灰尘的过程材料。
其主要性能特点:
1.原泵室无摩擦磨损，泵体之间有一定间隙。
2.泵运转时，机体噪音低，泵送能力大。
3.结构简单紧凑，由旋转反向螺杆、泵体、端盖、密封等部件组成，简单可靠，在使用寿命长的情况下几乎不需要定期维护。
4.干式运行，无任何工质，因此无油污，无污水排放，节能减排效果显著。