三明真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备，用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
1.罗茨真空泵的工作原理
真空泵机组中的罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的连续旋转，泵送气体从空气入口被吸入转子和泵壳之间的空间v0，然后通过空气出口排出。由于v0空间在吸入后完全关闭，泵室中的气体不会被压缩和膨胀。
然而，当转子的顶部翻转排气口的边缘并且v0空间与排气侧连通时，由于排气侧的高气体压力，一些气体被冲回到空间v0中，这突然增加了气体压力。当转子继续旋转时，气体从泵中排出。
2.旋片真空泵的工作原理
旋片真空泵(简称旋片泵)是一种油封机械真空泵。其工作压力范围为101325~1.33倍；10-2(pa)属于低真空泵。可单独使用，也可作为其他高真空泵或真空泵机组的前级泵。它已广泛应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油和医药等生产和科研部门。
3.水环真空泵的工作原理
水环真空泵叶片的叶轮偏心安装在圆柱形泵壳内。一定量的水被注入泵中。当叶轮旋转时，水被甩到泵壳上形成水环，水环的内表面与叶轮轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心，右半毂与水环之间的进气空间逐渐扩大，从而形成真空，使气体通过进气管进入泵内的进气空间。然后气体进入左半部，由于毂环之间的容积逐渐压缩，压力增大，于是气体通过排气空间和排气管排到泵外。